微區掃描電化學是一個建立在電化學掃描探針的設計基礎上的，進行超高測量分辨率及空間分辨率的非接觸式微區形貌及電化學微區測試系統。微區掃描電化學是提供給電化學及材料測試以極高空間分辨率的一個測試平臺。每個都具有高分辨率，長工作距離的閉環定位系統并安裝于抗震光學平臺上。不同的輔助選件都安裝于定位系統上，輔助選件包括，如電位計，為不同掃描探針試驗，定位系統提供不同的功能。微區掃描電化學是一個模塊化配置的系統，可以實現微區掃描探針電化學技術以及激光非接觸式微區形貌測試，且安裝位置與樣品非常接近，但是不接觸到樣品。隨著探針測試的進行，改變探針的空間位置。然后將所記錄的數據對探針位置作圖，微區掃描電化學針對不同技術，該圖可以呈現微區電化學電流，阻抗，相對功函或者是表面形貌圖。

微區掃描電化學是一個精密的掃描微電極系統，具有極高空間分辨率。微區掃描電化學有很多潛在的應用，目前主要用于電沉積和腐蝕科學中的表面反應過程基礎研究、酶穩定性研究、生物大分子的電化學反應特性以及微機電系統等領域。